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            博諾格儀器

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            氣體質量流量計/控制器

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            Line Tech氣體質量流量控制器

             

            產品特點:

            • 快速的響應時間
            • 無泄漏
            • 較好的抗腐蝕性
            • 卓越的線性
            • 較高的長期穩定性
            • 寬泛的壓力范圍
            • 模塊化設計
            • 較高性價比

             

            技術指標:

            流量范圍
            10SCCM-125SLPM
            響應時間
            ≤2sec
            準確度
            ≤1%FS
            重復精度
            ±0.25%
            輸入/輸出信號
            0-5VDC,4-20mA
            供電電源
            +15~28VDC,350mA
            耐壓
            <9MPa
            工作環境溫度
            0-50℃
            泄漏率
            1*10-9atm.cc/sec

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